Блоки питания
Блок питания турбомолекулярного горизонтального насоса ТМН-500 |
|
БПЧ -950/1500
Блок питания турбомолекулярного насоса 01АБ-1500-004, НВТ-950-027А
|
|
БПЧ -340/450
Блок питания турбомолекулярного насоса 01АБ-450-003, НВТ-340-028А
|
|
Блок питания источника ионов БП-94 |