Источники ионов
 |
Источник ионов «Радикал» ИИ-4-0.15
|
 |
Источник ионов многоячеистый
«Радикал» Диаметр пучка 160 мм Диаметр условного прохода – 187 мм Габариты – Ø280×102 мм |
 |
Источник ионов многоячеистый «Радикал»
Диаметр пучка 222 мм
Диаметр условного прохода – 250 мм Габариты – Ø370×156 мм |
 |
Источник ионов для двухсторонней обработки протяженных объектов ISTO-150
Параметры источника ионов ISTO-150: – максимальное сечение обрабатываемого объекта – 150×15 мм; – габаритные размеры источника ионов – 275×98×34 мм; – рабочее напряжение – 2,0…4,0 кВ; – максимальный ток – до 150 мА; – рабочее давление – 1,0×10-4…5,0×10-4 Торр; – рабочий газ – Ar, O₂ и другие |
 |
Источник ионов круглый (для установки ВУП-5 и других)
Диаметр пучка: 25-30 мм.
|