Вакуумные системы и установки
 |
Установка вакуумного напыления SCM-600, Alcatel
-камера вакуумная водоохлаждаемая ø600×h306мм
-магнетрон с мишенями 6» и 8»
-водоохлаждаемый изолированный подложкодержатель с приводом вращения
-механизм подъема верхней крышки
|
 |
Вакуумная установка, RIBER
|